Жоғары температурадағы вакуумдық компоненттер
Термиялық өңдеу негізінен тотығу, диффузия және күйдіру процестерін қамтиды.Тотығу - бұл кремний пластиналары жоғары температуралы пешке орналастырылатын және олармен әрекеттесу үшін оттегі қосылатын пластинаның бетінде кремний диоксиді түзілетін аддитивті процесс.Диффузия молекулалық жылулық қозғалыс арқылы заттарды жоғары концентрация аймағынан төмен концентрация аймағына жылжыту болып табылады, ал диффузия процесі кремний субстратындағы спецификалық легирленген заттарды легирлеу үшін қолданыла алады, осылайша жартылай өткізгіштердің өткізгіштігін өзгертеді.
